고정 속도 건식 스크류 진공 펌프
Yuzhen의 내구성이 뛰어난 고정 속도 건식 스크류 진공 펌프는 간단한 구조와 안정적인 작동을 특징으로 하여 고정된 작동 조건과 연속 생산이 필요한 응용 분야에 적합합니다. 이는 비용 효율적이고 유지 관리가 덜 필요한 기존 건식 진공 솔루션입니다.
안정적인 생산 리듬과 상대적으로 일정한 진공 요구 사항을 가진 고객의 경우 복잡한 제어가 필요하지 않습니다. 안정성, 내구성 및 유지 관리 용이성의 핵심 장점을 갖춘 Yuzhen 고정 속도 건식 스크류 진공 펌프는 많은 공장에서 장기적인 선택이 되었습니다.
이 시리즈의 스크류 로터는 정밀하게 가공되어 탁월한 밀봉과 지속적이고 안정적인 펌핑을 보장합니다. 성숙하고 안정적인 구동 방식을 사용하여 직접 시작하고 원활하게 작동하여 불필요한 제어 복잡성을 줄입니다. 오일 프리 구조로 인해 시스템이 더욱 깨끗해지고 유지 관리 빈도가 크게 줄어들어 일상적인 사용이 더욱 쉬워집니다.
연속 생산 라인, 진공로, 코팅 공정 또는 기존 산업용 진공 응용 분야에 관계없이 이 고정 속도 건식 스크류 진공 펌프는 안정적인 출력을 제공하여 기업이 장비 투자 및 장기 유지 관리 비용을 제어하는 동시에 효율성을 보장하도록 돕습니다.
Yuzhen은 Hanbell의 성숙한 나사 제조 기술과 엄격한 품질 관리 시스템을 바탕으로 여러 국제 인증을 통과한 제품을 보유하고 있으며 오랫동안 글로벌 산업 시장에 서비스를 제공해 왔습니다. ISO-9001, 미국 UL, 유럽 CE, 스위스 로이드 해양등급 등 국제 인증도 획득했다.
PS 시리즈 건식 스크류 진공 펌프
주요 특징
1. 짧은 가스 경로 및 공정 가스 오염 감소
다른 유형의 건식 진공 펌프와 비교하여 HANBELL 스크류 진공 펌프는 진공 펌프에서 가장 짧은 가스 경로를 가지며 공정 가스의 오염을 줄일 수 있습니다. 스크류 로터는 분말 전달 메커니즘으로 작동할 수 있으며, 펌프 내부에 오염이 많은 경우에도 잘 작동합니다.
2. 우수한 로터 프로파일 씰링 효과로 인한 우수한 펌프 성능
특허받은 로터 프로파일은 로터에 탁월한 밀봉 효과를 제공하므로 그 사이에 더 큰 간격이 허용됩니다. 더 큰 허용 간극으로 인해 공정 오염으로 인한 펌프 로터 마모 및 로터 걸림을 줄일 수 있습니다.
3. 간단한 구조로 예상치 못한 펌프 정지의 가능성을 줄이고 정밀검사 작업이 용이합니다.
스크류형 진공은 한 쌍의 스크류 로터로 구성되며 펌핑 챔버의 여러 단계에서 격리 플레이트가 필요합니다. 로터와 격리 플레이트 사이의 공정 오염도 피할 수 있습니다. 한벨 건식펌프의 분해검사는 다른 건식펌프에 비해 훨씬 쉽기 때문에 수리시간이 짧고 비용이 절약됩니다.
4. 마이크로프로세서 컨트롤러와 원격 제어 소프트웨어는 비정상적인 상황으로부터 펌프를 보호할 수 있습니다.
마이크로프로세서 컨트롤러는 작동 상태 모니터링을 위해 다양한 펌프 매개변수를 제공합니다. 조작반을 통해 펌프의 운전 및 모니터링이 용이합니다. 원격 제어 소프트웨어는 고객이 펌프 작동 상태를 원격으로 모니터링하는 데 도움을 줄 수 있습니다.
장점
1. 냉각수에 의한 쉘의 부식을 방지하기 위해 특수 냉각수를 사용하여 냉각합니다.
2. 모바일 조작 인터페이스는 조작이 편리합니다. 진공 펌프의 실제 작동 상태를 표시하고 중국어와 영어로 표시할 수 있어 고객의 요구에 부응합니다.
3. 군용 전원 커넥터로 안전하고 편리합니다.
4. 진공 펌프를 CVD 및 PECVD와 같은 반도체 공정에 더 적합하게 만드는 질소 히터.
5. 제어 신호 및 통신 신호 인터페이스로 진공 펌프의 원격 모니터링이 가능합니다.
PS 시리즈 건식 스크류 진공 펌프
| 모델 | 단위 | PS80 | PS160 | PS180 | |
| 펌핑 속도(50HZ/60HZ) | L/분 | 1300/1600 | 2150/2600 | 2500/3000 | |
| m³/시간 | 80/96 | 140/156 | 150/180 | ||
| CFM | 48/57 | 82/92 | 88/105 | ||
| UITime 압력 | 토르 | ≤7.5*10⁻3 | |||
| mbar | ≤1*10-2 | ||||
| 아빠 | ≤1 | ||||
| 모터 | 빈도 | HZ | 50/60 | ||
| 전압 | V | 220~440 | |||
| 힘 | HP | 4 | 6 | 6 | |
| KW | 2.98 | 4.47 | 4.47 | ||
| 연결 | 입구 | NW50 | |||
| 아웃러 | NW40 | ||||
| 냉각 물 |
흐름 | L/분 | 3~7 | ||
| 압력 | kg/cm² | 2~4 | |||
| 온도 | ℃ | 18~30 | |||
| 연결 | RC3/8” | ||||
| N2 | 압력 | Mpa | 0.15~0.2 | ||
| 희석 흐름 | L/분 | 0~60 | |||
| 씰링 흐름 | L/분 | 0~20 | |||
| 연결 | 스웨즈락 1/4” | ||||
| 치수 L*W*H | mm | 814*380*663 | 895*405*678 | 920*425*650 | |
| 무게 | kg | 280 | 300 | 320 | |
| 소음 | 데시벨(A) | ≤68 | 70 이하 | 70 이하 | |
| 참고: 1. 위의 소음 수준은 수냉식 모터가 있고 케이스가 없는 모델에 대한 것입니다. 2. 위 모델에 방음장치를 설치하면 소음을 3~4데시벨 더 줄일 수 있습니다. | |||||
| 인터페이스 | SEMIE73-0299 | ||||
| 펌프 누출률 | Mbar.1/초 | 1*10-5 | |||
| 작동온도 | ℃ | 5~40 | |||
| 작동 수분 | RH | 90% 이하 | |||
| 모델 | 단위 | PS602 | PS902 | PS1302 | PS1802 | |
| 펌핑 속도(50HZ/60HZ) | L/분 | 8300/10000 | 12500/15000 | 17500/21000 | 25000/33300 | |
| m³/시간 | 500/600 | 750/900 | 1050/1260 | 1500/1800 | ||
| CFM | 294/353 | 441/530 | 618/742 | 883/1060 | ||
| UITime 압력 | 토르 | ≤7.5*10⁻⁴ | ||||
| mbar | ≤1*10⁻³ | |||||
| 아빠 | ≤0.1 | |||||
| 모터 | 빈도 | HZ | 50/60 | |||
| 전압 | V | 220~440 | ||||
| 힘 | HP | 4+4 | 6+4 | 6+6 | 6+6 | |
| KW | 2.98+2.98 | 4.47+2.98 | 4.47+4.47 | 4.47+4.47 | ||
| 연결 | 입구 | IS0100(볼트식) | IS0160(볼트식) | |||
| 아웃러 | NW40 | |||||
| 냉각 물 |
흐름 | L/분 | 3~7 | |||
| 압력 | kg/cm² | 2~4 | ||||
| 온도 | ℃ | 15~30 | ||||
| 연결 | RC3/8” | |||||
| N2 | 압력 | Mpa | 0.15~0.2 | |||
| 희석 흐름 | L/분 | 0~60 | ||||
| 씰링 흐름 | L/분 | 0~20 | ||||
| 연결 | 스웨즈락 1/4” | |||||
| 치수 L*W*H | mm | 814*380*865 | 895*380*915 | 920*430*957 | 920*430*1030 | |
| 무게 | kg | 450 | 520 | 540 | 545 | |
| 소음 | 데시벨(A) | 70 이하 | 70 이하 | 70 이하 | 70 이하 | |
| 참고: 1. 위의 소음 수준은 수냉식 모터가 있고 케이스가 없는 모델에 대한 것입니다. 2. 위 모델에 방음장치를 설치하면 소음을 3~4데시벨 더 줄일 수 있습니다. | ||||||
| 인터페이스 | SEMIE73-0299 | |||||
| 작동온도 | ℃ | 5~40 | ||||
| 작동 수분 | RH | 90% 이하 | ||||
PS 물리적 치수
PD 시리즈 건식 스크류 진공 펌프
특징
건식 스크류 진공 펌프는 수냉식 모터(방폭) 또는 공냉식 모터(방폭), 고압에서 높은 펌핑 속도, 낮은 전력 소비, 저소음이 가능합니다.
애플리케이션
TFT-LCD, 터치 패널
태양광
야금 시스템
코팅
플라즈마 공정
건조과정
생명공학/제약
화학 산업
PD 성능 매개변수
| 모델 | 단위 | PD120 | PD200 | PD300 | PD500 | PD650 | PD800 | |
| 펌핑 속도(50HZ/60HZ) | L/분 | 1667/2000 | 2830/3400 | 4167/5000 | 7000/8333 | 9030/10840 | 11011/13233 | |
| m³/시간 | 100/120 | 167/200 | 250/300 | 420/500 | 540/650 | 680/800 | ||
| CFM | 59/71 | 98/117 | 147/176 | 248/295 | 371/382 | 393/471 | ||
| UITime 압력 | 토르 | ≤7.5*10-3 | ||||||
| mbar | ≤1*10-2 | |||||||
| 아빠 | ≤1 | |||||||
| 모터 | 빈도 | HZ | 50/60 | |||||
| 전압 | V | 220~380~440 | ||||||
| 힘 | HP | 4/5.3 | 6/7.5 | 8/10 | 15/20 | 25/30 | 25/30 | |
| KW | 2.98/4 | 4.47/5.5 | 6.7/7.5 | 11/15 | 18.5/22 | 18.5/22 | ||
| 힘 | KW | 1.6/2 | 2.2/3 | 3.6/4.2 | 6/7 | 10/13 | 11/14 | |
| 연결 | 입구 | NW50 | NW50 | ISO63 | ISO80 | ISO100 | ISO100 | |
| 아웃러 | NW40 | NW40 | NW40 | NW50 | ISO63 | ISO63 | ||
| 냉각 물 |
연결 | RC3/8” | RC1/2” | |||||
| 압력 | kg/cm² | 2.0~4.0 | ||||||
| 온도 | ℃ | 3slm18℃~7slm28℃ | 6slm18℃~15slm28℃ | |||||
| 흐름 | L/분 | |||||||
| N2 | 압력 | kg/cm² | 0.15~0.2 | |||||
| 희석 흐름 | L/분 | 프로세스별 | ||||||
| 씰링 흐름 | L/분 | 10 | ||||||
| 연결 | 스웨즈락 1/4” | |||||||
| 치수 L*W*H | mm | 814*380*663 | 920*430*674 | 1075*430*650 | 1346*538.4*886 | 1831*610*735 | 1831*610*735 | |
| 무게 | kg | 280 | 345 | 390 | 550 | 1050 | 1050 | |
| 소음 | 데시벨(A) | 68 | <70 | <70 | <75 | <80 | <80 | |
| 작동온도 | ℃ | 5~40℃ | ||||||
| 작동 수분 | RH | 90% 이하 | ||||||
PD 성능 곡선
PD 물리적 치수
PR 시리즈 루츠 펌프
특징
1. PR 펌프는 고품질의 오일 프리 펌핑 메커니즘을 갖추고 있습니다.
2. 우수한 Rator 프로파일 밀봉 효과로 인해 펌프 성능이 우수합니다.
3. 비교적 낮은 압력에서 작동하므로 신뢰성이 높습니다.
4. 조용하고 진동이 없는 작동
적용 분야
진공코팅, 진공오븐, 열처리, 제약, 화학, 반도체, TFT/LCD/LED, 태양전지 등
PR 성과 매개변수
| 모델 | 단위 | PR600 | PR900 | PR1300 | PR1800 | PR3000 | PR7000 | |
| 펌핑 속도(50HZ/60HZ) | L/분 | 13000 | 20000 | 26000 | 33000 | 63000 | 140000 | |
| m³/시간 | 800 | 1200 | 1600 | 2000 | 3800 | 8400 | ||
| CFM | 470 | 706 | 941 | 1176 | 2235 | 4947 | ||
| UITime 압력 | 토르 | ≤7.5*10⁴ | ||||||
| mbar | ≤1*10⁻³ | |||||||
| 아빠 | ≤0.1 | |||||||
| 모터 | 빈도 | HZ | 50/60 | |||||
| 전압 | V | 220~440 | ||||||
| 힘 | HP | 4 | 4 | 6 | 6 | 8/20 | 20 | |
| KW | 2.98 | 2.98 | 4.47 | 4.47 | 6.7/15 | 15 | ||
| 유휴 전력 소비 | KW | 1.7 | ||||||
| 연결 | 입구 | IS0100 | ISO160 | ISO200 | 320 ISO-K | |||
| 아웃러 | IS0063 | ISO100 | IS0160 | 160 ISO-K | ||||
| 치수 L*W*H |
mm |
721*322*233 |
778*360*250 |
848*360*272 |
778*360*272 |
1142*510*358 | 1490*669*490 | |
| 무게 | kg | 160 | 210 |
220 |
225 |
570 | 880 | |
| 소음 | 데시벨(A) |
≤60 |
≤60 |
≤62 |
≤62 |
≤65 |
70 이하 |
|
| 참고: 1. 위의 소음 수준은 수냉식 모터가 있고 케이스가 없는 모델에 대한 것입니다. 2. 위 모델에 방음장치를 설치하면 소음을 3~4데시벨 더 줄일 수 있습니다. | ||||||||
| 펌프 누출률 | Mbar.1/초 | 1*10⁵ | ||||||
| 작동온도 ℃ | ℃ | 5~40 | ||||||
| 작동 수분 RH | RH | 90% 이하 | ||||||
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