가변 주파수 건식 스크류 진공 펌프

Yuzhen 고품질 가변 주파수 건식 스크류 진공 펌프는 필요한 전력만 사용하여 현장 작업 조건에 따라 속도를 자동으로 조정할 수 있어 에너지 절약과 유연성이 향상됩니다. 이는 공정 변경이 잦고 에너지 소비 및 안정성에 대한 요구 사항이 까다로운 생산 라인에 특히 적합합니다.

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제품 설명

많은 공장에서 진공 요구 사항은 일정하지 않습니다.

일부 공정에는 고진공이 필요하지만 다른 공정에서는 특정 상태만 유지하면 됩니다. 장비가 최고 속도로 계속 작동하면 전기 비용이 높아지고 장비 마모가 가속화됩니다.

가변 주파수 건식 스크류 진공 펌프의 장점은 다음과 같습니다.

항상 최대 용량으로 작동하지는 않지만 실제 필요에 따라 속도를 자동으로 조정합니다. 진공 펌프는 필요에 따라 작동하여 전기를 절약하고 불필요한 작업을 방지합니다.

시스템 부하가 낮으면 진공 펌프의 속도가 자동으로 느려지므로 불필요한 에너지 소비가 줄어듭니다.

프로세스에 더 큰 펌핑 용량이 필요한 경우 신속하게 대응하여 생산 리듬이 방해받지 않도록 할 수 있습니다.

이러한 가변 주파수 제어 방식은 전기 비용을 크게 절감할 뿐만 아니라 전체 시스템을 보다 원활하고 조용하게 작동시킵니다. 장기적으로는 장비 자체도 보호합니다.

간편한 관리

가변 주파수 건식 스크류 진공 펌프는 직관적인 제어 인터페이스를 갖추고 있어 사용자가 작동 상태와 매개변수를 한눈에 쉽게 이해할 수 있습니다. 운영자에게는 전문적이고 복잡한 교육이 필요하지 않습니다. 사용이 매우 간편하고 일상적인 조정과 모니터링이 편리합니다.

일반적인 애플리케이션 시나리오

반도체 및 전자제품 제조: 에칭, CVD, PECVD 및 기타 공정

태양광 및 LED 생산 라인: 박막 증착, 세척 및 배기

화학 공정: 가스 처리, 진공 반응, 용매 회수

코팅, 도금 및 고청정 산업용 애플리케이션

PS 시리즈 건식 스크류 진공 펌프

주요 특징

1. 짧은 가스 경로 및 공정 가스 오염 감소

다른 유형의 건식 진공 펌프와 비교하여 HANBELL 스크류 진공 펌프는 진공 펌프에서 가장 짧은 가스 경로를 가지며 공정 가스의 오염을 줄일 수 있습니다. 스크류 로터는 분말 전달 메커니즘 역할을 할 수 있으므로 펌프 내부에 오염 물질이 많은 경우에도 잘 작동합니다.

2. 우수한 로터 프로파일 씰링 효과로 인한 우수한 펌프 성능

특허받은 로터 프로파일은 로터에 탁월한 밀봉 효과를 제공하므로 그 사이에 더 큰 간격이 허용됩니다. 더 큰 허용 간극으로 인해 공정 오염으로 인한 펌프 로터 마모 및 로터 걸림을 줄일 수 있습니다.

3. 간단한 구조로 예상치 못한 펌프 정지의 가능성을 줄이고 정밀검사 작업이 용이합니다.

스크류형 진공은 한 쌍의 스크류 로터로 구성되며 펌핑 챔버의 여러 단계에서 격리 플레이트가 필요합니다. 로터와 격리 플레이트 사이의 공정 오염도 피할 수 있습니다. 한벨 건식펌프의 분해검사는 다른 건식펌프에 비해 훨씬 쉽기 때문에 수리시간이 짧고 비용이 절약됩니다.

4. 마이크로프로세서 컨트롤러와 원격 제어 소프트웨어는 비정상적인 상황으로부터 펌프를 보호할 수 있습니다.

마이크로프로세서 컨트롤러는 작동 상태 모니터링을 위해 다양한 펌프 매개변수를 제공합니다. 조작반을 통해 펌프의 운전 및 모니터링이 용이합니다. 원격 제어 소프트웨어는 고객이 펌프 작동 상태를 원격으로 모니터링하는 데 도움을 줄 수 있습니다.

장점

1. 냉각수에 의한 쉘의 부식을 방지하기 위해 특수 냉각수를 사용하여 냉각합니다.

2. 모바일 조작 인터페이스는 조작이 편리합니다. 진공 펌프의 실제 작동 상태를 표시하고 중국어와 영어로 표시할 수 있어 고객의 요구에 부응합니다.

3. 군용 전원 커넥터로 안전하고 편리합니다.

4. 진공 펌프를 CVD 및 PECVD와 같은 반도체 공정에 더 적합하게 만드는 질소 히터.

5. 제어 신호 및 통신 신호 인터페이스로 진공 펌프의 원격 모니터링이 가능합니다.

Variable Frequency Dry Screw Vacuum Pump

PS 시리즈 건식 스크류 진공 펌프

모델		단위	PS80	PS160	PS180
펌핑 속도(50HZ/60HZ)		L/분	1300/1600	2150/2600	2500/3000
		m³/시간	80/96	140/156	150/180
		CFM	48/57	82/92	88/105
UITime 압력		토르	≤7.5*10^⁻3
		mbar	≤1*10^-2
		아빠	≤1
모터	빈도	HZ	50/60
	전압	V	220~440
	힘	HP	4	6	6
		KW	2.98	4.47	4.47
연결	입구		NW50
	아웃러		NW40
냉각 물	흐름	L/분	3~7
	압력	kg/cm²	2~4
	온도	℃	18~30
	연결		RC3/8”
N2	압력	Mpa	0.15~0.2
	희석 흐름	L/분	0~60
	씰링 흐름	L/분	0~20
	연결		스웨즈락 1/4”
치수 LWH		mm	814380663	895405678	920425650
무게		kg	280	300	320
소음		데시벨(A)	≤68	70 이하	70 이하
			참고: 1. 위의 소음 수준은 수냉식 모터가 있고 케이스가 없는 모델에 대한 것입니다. 2. 위 모델에 방음장치를 설치하면 소음을 3~4데시벨 더 줄일 수 있습니다.
인터페이스			SEMIE73-0299
펌프 누출률		Mbar.1/초	1*10^-5
작동온도		℃	5~40
작동 수분		RH	90% 이하

모델		단위	PS602	PS902	PS1302	PS1802
펌핑 속도(50HZ/60HZ)		L/분	8300/10000	12500/15000	17500/21000	25000/33300
		m³/시간	500/600	750/900	1050/1260	1500/1800
		CFM	294/353	441/530	618/742	883/1060
UITime 압력		토르	≤7.5*10⁻⁴
		mbar	≤1*10⁻³
		아빠	≤0.1
모터	빈도	HZ	50/60
	전압	V	220~440
	힘	HP	4+4	6+4	6+6	6+6
		KW	2.98+2.98	4.47+2.98	4.47+4.47	4.47+4.47
연결	입구		IS0100(볼트식)		IS0160(볼트식)
	아웃러		NW40
냉각 물	흐름	L/분	3~7
	압력	kg/cm²	2~4
	온도	℃	15~30
	연결		RC3/8”
N2	압력	Mpa	0.15~0.2
	희석 흐름	L/분	0~60
	씰링 흐름	L/분	0~20
	연결		스웨즈락 1/4”
치수 LWH		mm	814380865	895380915	920430957	9204301030
무게		kg	450	520	540	545
소음		데시벨(A)	70 이하	70 이하	70 이하	70 이하
			참고: 1. 위의 소음 수준은 수냉식 모터가 있고 케이스가 없는 모델에 대한 것입니다. 2. 위 모델에 방음장치를 설치하면 소음을 3~4데시벨 더 줄일 수 있습니다.
인터페이스			SEMIE73-0299
작동온도		℃	5~40
작동 수분		RH	90% 이하

PS 물리적 치수

Variable Frequency Dry Screw Vacuum Pump

PD 시리즈 건식 스크류 진공 펌프

특징

건식 스크류 진공 펌프는 수냉식 모터(방폭) 또는 공냉식 모터(방폭), 고압에서 높은 펌핑 속도, 낮은 전력 소비, 저소음이 가능합니다.

애플리케이션

TFT-LCD, 터치 패널

태양광

야금 시스템

코팅

플라즈마 공정

건조과정

생명공학/제약

화학 산업

PD 성능 매개변수

모델		단위	PD120	PD200	PD300	PD500	PD650	PD800
펌핑 속도(50HZ/60HZ)		L/분	1667/2000	2830/3400	4167/5000	7000/8333	9030/10840	11011/13233
		m³/시간	100/120	167/200	250/300	420/500	540/650	680/800
		CFM	59/71	98/117	147/176	248/295	371/382	393/471
UITime 압력		토르	≤7.5*10^-3
		mbar	≤1*10^-2
		아빠	≤1
모터	빈도	HZ	50/60
	전압	V	220~380~440
	힘	HP	4/5.3	6/7.5	8/10	15/20	25/30	25/30
	힘	KW	2.98/4	4.47/5.5	6.7/7.5	11/15	18.5/22	18.5/22
	힘	KW	1.6/2	2.2/3	3.6/4.2	6/7	10/13	11/14
연결	입구		NW50	NW50	ISO63	ISO80	ISO100	ISO100
연결	아웃러		NW40	NW40	NW40	NW50	ISO63	ISO63
냉각 물	연결		RC3/8”				RC1/2”
	압력	kg/cm²	2.0~4.0
	온도	℃	3slm18℃~7slm28℃			6slm18℃~15slm28℃
	흐름	L/분	3slm18℃~7slm28℃			6slm18℃~15slm28℃
N2	압력	kg/cm²	0.15~0.2
	희석 흐름	L/분	프로세스별
	씰링 흐름	L/분	10
	연결		스웨즈락 1/4”
치수 LWH		mm	814380663	920430674	1075430650	1346538.4886	1831610735	1831610735
무게		kg	280	345	390	550	1050	1050
소음		데시벨(A)	68	<70	<70	<75	<80	<80
작동온도		℃	5~40℃
작동 수분		RH	90% 이하

PD 성능 곡선

Variable Frequency Dry Screw Vacuum Pump

PD 치수

Variable Frequency Dry Screw Vacuum Pump

PD 시리즈

제품	단위	PD300	PD500	PD1902	PD2152	PD3052	PD3652
드라이 펌프	m³/시간	330	500	330	500	500	500
부스터 펌프	m³/시간			1800	1800	3000	3600
최대 펌핑 속도	m³/시간	330	500	1900	2100	3000	3600
최대 펌핑 속도	l/분	5500	8300	32000	35000	50000	60000
궁극의 압력	토르	7.5X10^-3	7.5X10^-3	7.5X10^-4	7.5X10^-4	7.5X10^-4	7.5X10^-4
전력 소비	kW	4.5	7.7	5.3	8.5	8.8	9.0
입구	그래서	63	80	160	160	200	200
콘센트	북서쪽	40	50	40	50	50	50
치수(mm)	L	1055	1505	1055	1505	1505	1505
	W	430	525	430	525	525	525
	H	560	515	1055	790	965	965
무게	kg	350	500	560	730	1000	1020

PR 시리즈 루츠 펌프

특징

1. PR 펌프는 고품질의 오일 프리 펌핑 메커니즘을 갖추고 있습니다.

2. 우수한 Rator 프로파일 밀봉 효과로 인해 펌프 성능이 우수합니다.

3. 비교적 낮은 압력에서 작동하므로 신뢰성이 높습니다.

4. 조용하고 진동이 없는 작동

적용 분야

진공코팅, 진공오븐, 열처리, 제약, 화학, 반도체, TFT/LCD/LED, 태양전지 등

PR 성과 매개변수

모델		단위	PR600	PR900	PR1300	PR1800	PR3000	PR7000
펌핑 속도(50HZ/60HZ)		L/분	13000	20000	26000	33000	63000	140000
		m³/시간	800	1200	1600	2000	3800	8400
		CFM	470	706	941	1176	2235	4947
UITime 압력		토르	≤7.5*10⁴
		mbar	≤1*10⁻³
		아빠	≤0.1
모터	빈도	HZ	50/60
	전압	V	220~440
	힘	HP	4	4	6	6	8/20	20
	힘	KW	2.98	2.98	4.47	4.47	6.7/15	15
유휴 전력 소비		KW						1.7
연결	입구		IS0100		ISO160		ISO200	320 ISO-K
연결	아웃러		IS0063		ISO100		IS0160	160 ISO-K
치수 LWH		mm	721322233	778360250	848360272	778360272	1142510358	1490669490
무게		kg	160	210	220	225	570	880
소음		데시벨(A)	≤60	≤60	≤62	≤62	≤65	70 이하
소음		데시벨(A)	참고: 1. 위의 소음 수준은 수냉식 모터가 있고 케이스가 없는 모델에 대한 것입니다. 2. 위 모델에 방음장치를 설치하면 소음을 3~4데시벨 더 줄일 수 있습니다.
펌프 누출률		Mbar.1/초	1*10⁵
작동온도 ℃		℃	5~40
작동 수분 RH		RH	90% 이하

PMF 반도체 에너지 절약 시리즈

모델		단위	PMF100	PMF120	PMF612
펌핑 속도		L/분	1666	1933	10000
		m³/시간	100	116	600
		CFM	59	69	353
궁극의 압력		토르	7.5×10 이하^-3	7.5×10 이하^-3	7.5×10 이하^-4
궁극의 압력		mbar	1×10 이하^-2	1×10 이하^-2	1×10 이하^-3
모터	전압	V	220V/380V	220V/380V	220V/380V
모터	정격 출력	kW	2.2	2.2	2.2+2.2
연결	입구		NW50	NW50	ISO80
연결	콘센트		NW25	NW25	NW40
냉각수 어둑한.	압력	kg/cm²	2.0-4.0(ΔP>1kg/cm²)	2.0-4.0(ΔP>1kg/cm²)	2.0-4.0(ΔP>1kg/cm²)
	Min.Flow	L/분	1	1	1
	온도	℃	20℃ 2L/분~30℃ 5L/분	20℃ 2Lmin~30℃ 5L/분	20℃ 2L/분~30℃ 5L/분
	코미디		RC1/4"	RC1/4"	RC1/4"
	L×W×H	mm	450×230×275	450×230×275	530×230×520
무게		kg	60	60	120
노시스		데시벨	60	60	60
UI최소 압력 전력		kW	0.39	0.44	0.5

IPH 시리즈

제품	단위	iPH100	iPH200	iPH610	iPH1210	iPH1210H	iPH1220	iPH1810	iPH1820
드라이 펌프	m³/h	120	200	120	120	120	200	120	200
부스터	m³/h	1	I	600	1200	1200	1200	1800	1800
최대 펌핑 속도	m³/h	120	200	700	1100	1100	1250	1800	1850
궁극의 압력	토르	7.5×10^-3	7.5×10^-3	7.5×10^-4	7.5×10^-4	7.5×10^-4	7.5×10^-4	7.5×10^-4	7.5×10^-4
UIt의 시스템 전력.	kW	2.1	3.5	2.6	3.0	3.2	4.5	3.9	4.7
입구	ISO	63	63	100	100	100	100	160	160
콘센트	북서쪽	40	40	40	40	40	40	40	40
치수(mm)	L	830	830	830	830	830	830	830	830
	W	400	400	400	400	400	400	400	400
	H	526	526	780	780	780	780	830	830
무게	kg	280	300	450	455	460	470	515	530

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